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[과제] 신규한 임프린트 재료, 및 해당 재료로 제작되어, 패턴이 전사된 막을 제공한다. [해결수단] (A)성분: 하기 식(1)로 표시되는 반복단위를 가지며, 식 중 X으로 표시되는 중합성기를 2개 이상 갖는 실세스퀴옥산 화합물, (B)성분: 하기 식(2)로 표시되는 반복단위를 가지며, 말단에 중합성기를 2개 갖는 실리콘 화합물, (C)성분: 광중합개시제 및 (D)성분: 용제를 함유하고, 상기 (A)성분 및 (B)성분의 합계 100질량%에 대하여, 해당 (B)성분의 비율이 5질량% 이상 25질량% 이하인 임프린트 재료.(식 중, R및 R는 각각 독립적으로 탄소원자수 1 내지 3의 알킬기를 나타내고, R은 탄소원자수 1 내지 3의 알킬렌기를 나타내고, k는 0 내지 3의 정수를 나타낸다.) |
