发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Verbindungshalbleiter-Feldeffekttransistors mit einer Fin-Struktur und Verbindungshalbleiter-Feldeffekttransistor mit einer Fin-Struktur
摘要
申请公布号 DE102005059231(B4) 申请公布日期 2011.01.13
申请号 DE200510059231 申请日期 2005.12.12
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 NAWAZ, MUHAMMAD
分类号 H01L21/337;H01L21/335;H01L29/808 主分类号 H01L21/337
代理机构 代理人
主权项
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