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发明名称
Verfahren zum Herstellen eines Verbindungshalbleiter-Feldeffekttransistors mit einer Fin-Struktur und Verbindungshalbleiter-Feldeffekttransistor mit einer Fin-Struktur
摘要
申请公布号
DE102005059231(B4)
申请公布日期
2011.01.13
申请号
DE200510059231
申请日期
2005.12.12
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
NAWAZ, MUHAMMAD
分类号
H01L21/337;H01L21/335;H01L29/808
主分类号
H01L21/337
代理机构
代理人
主权项
地址
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