METHOD FOR SUPPLYING DEPOSITION MATERIAL METHOD FOR PRODUCING SUBSTRATE CONTROL DEVICE AND DEPOSITION DEVICE

摘要

이 증착 재료 공급 방법은, 증착 재료를 수용하는 재료 수용부에 수용된 증착 재료를 가열하여 증발시키는 가열 단계와, 재료 수용부 내에서 용융한 증착 재료를 향해, 고상의 증착 재료를 보내서 용융시킴으로써, 재료 수용부 내에 증착 재료를 공급하는 공급 단계와, 공급 단계에서 공급한 후의 고상의 증착 재료의 용융 상태를 검출하는 용융 상태 검출 단계를 구비한다.