LASER ANNEALING METHOD AND LASER ANNEALING APPARATUS,申请号KR20107025155-传众专利搜索

发明名称	LASER ANNEALING METHOD AND LASER ANNEALING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR20110004437(A)	申请公布日期	2011.01.13
申请号	KR20107025155	申请日期	2008.06.12
申请人	IHI CORPORATION	发明人	KAWAGUCHI NORIHITO;KAWAKAMI RYUSUKE;NISHIDA KENICHIRO;MASAKI MIYUKI;MORITA MASARU;YOSHINOUCHI ATSUSHI
分类号	H01L21/324;H01L21/268	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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