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发明名称 APPARATUS INCLUDING HEATING SOURCE REFLECTIVE FILTER FOR PYROMETRY
摘要
申请公布号 KR20110004433(A) 申请公布日期 2011.01.13
申请号 KR20107025097 申请日期 2009.04.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 RANISH JOSEPH M.;HUNTER AARON M.;KOELMEL BLAKE R.
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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