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发明名称 Vorrichtung zur Messung von Strukturbreiten auf Masken für die Halbleiterindustrie
摘要
申请公布号 DE10343876(B4) 申请公布日期 2011.01.13
申请号 DE20031043876 申请日期 2003.09.23
申请人 VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH;MUETEC AUTOMATISIERTE MIKROSKOPIE UND MESTECHNIK GMBH 发明人 VOLLRATH, WOLFGANG;HILLMANN, FRANK;SCHEURING, GERD;BRUECK, HANS-JUERGEN
分类号 G01B11/24;G01B11/02;G01B11/14;G01M11/00;G02B13/14;G02B21/33;G02B26/10;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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