| 发明名称 |
Materialbearbeitungssystem und Materialbearbeitungsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10208043(B4) |
申请公布日期 |
2011.01.13 |
| 申请号 |
DE20021008043 |
申请日期 |
2002.02.25 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
KOOPS, HANS W. P.;HOFFROGGE, PETER |
| 分类号 |
H01J37/18;H01J37/317;C23F4/00;H01J37/30;H01J37/301;H01J37/305 |
主分类号 |
H01J37/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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