用于预离子化表面波发射的等离子体放电源的系统和方法

摘要

描述了一种用于处理衬底表面的系统和方法。一个实施方式包括一种用于在衬底上沉积膜的方法，该方法包括产生多个第一功率脉冲，该多个第一功率脉冲中的每一个都具有第一脉冲振幅，提供该多个第一功率脉冲到第一放电管，使用该多个第一功率脉冲在第一放电管附近产生等离子体，在该多个第一功率脉冲中的每一个功率脉冲之间维持等离子体，使得在该多个第一功率脉冲中的每一个功率脉冲期间不再点燃等离子体，使用等离子体来分解原料气体，和将至少一部分所分解的原料气体沉积到衬底上。

主权项

一种用于在衬底上沉积膜的方法，该方法包括：产生多个第一功率脉冲，该多个第一功率脉冲中每一个都具有第一脉冲振幅；提供该多个第一功率脉冲到第一放电管；使用该多个第一功率脉冲在第一放电管附近产生等离子体；维持该多个第一功率脉冲中每一个功率脉冲之间的等离子体使得在该多个第一功率脉冲中每一个功率脉冲期间不再点燃等离子体；使用等离子体来分解原料气体；和将至少一部分所分解的原料气体沉积到衬底上。