| 摘要 |
본 발명은 박막 트랜지스터가 형성되는 엑스레이 검출기용 어레기 기판 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본원발명의 엑스레이 검출기용 어레이 기판은, 기판 상에 형성되고 다수의 게이트 배선 및 다수의 데이터 배선의 교차에 의해서 매트릭스 형태로 정의되는 다수의 화소영역에 있어서, 다수의 데이터 배선 각각의 타측으로 돌출되는 돌출부를 가지는 다수의 소스전극, 및 다수의 활성층 각각의 타단과 연결되는 다수의 드레인 전극을 포함하는 다수의 박막 트랜지스터를 구비하고, 다수의 드레인 전극 각각과 연결되는 다수의 광 다이오드와 다수의 광 다이오드에 바이어스 전압을 인가하기 위한 다수의 바이어스 배선과 다수의 상기 소스전극 각각의 상기 돌출부와 연결되는 다수의 독출배선을 포함하는 것을 특징으로 한다. |
