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发明名称 CERIUM-BASED POLISH AND CERIUM-BASED POLISH SLURRY
摘要
申请公布号 EP1444308(B1) 申请公布日期 2011.01.12
申请号 EP20020785937 申请日期 2002.11.15
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 BESSHO, NAOKI
分类号 C09K3/14;B24B37/00;C01F17/00;C09G1/02;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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