三维微力硅微传感器

摘要

三维微力硅微传感器，包括一玻璃基底1，玻璃基底1上配置有相互垂直的四个单端固支硅悬臂梁4，悬臂梁4支撑着中间的质量悬块5，质量悬块5上配置有微力学探针3，四个悬臂梁4上还各配置有组压阻条2，四个压阻条2配置成惠斯通电桥。该传感器集应力敏感与力电转换检测于一体，具有灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化的特点。

主权项

三维微力硅微传感器，包括一玻璃基底(1)，其特征是，所说的玻璃基底(1)上配置一硅侧壁(6)，硅侧壁(6)的中间配置有相互垂直的四个单端固支硅悬臂梁(4)，悬臂梁(4)支撑着中间的质量悬块(5)，质量悬块(5)的厚度小于硅侧壁(6)的厚度，质量悬块(5)上配置有微力学探针(3)，探针(3)采用阶梯结构形式，四个悬臂梁(4)上还各配置有一组压阻条(2)，四组压阻条(2)配置成惠斯通电桥。