磁致伸缩式转矩传感器的制造方法

摘要

一种磁致伸缩式转矩传感器的制造方法，其具有：在磁致伸缩式转矩传感器(10)的旋转轴(11)上形成磁致伸缩膜(14A、14B)的形成磁致伸缩膜工序(P1)和向在该形成磁致伸缩膜工序(P1)中形成的所述磁致伸缩膜(14A、14B)附加磁各向异性的附加磁各向异性工序(P2)，且具有把旋转轴(11)进行退磁的退磁工序(P32)。退磁工序(P32)被设置在形成磁致伸缩膜工序(P1)后的任一阶段，是把旋转轴(11)上产生的剩磁(MS、MK)进行初始化的工序。

主权项

一种磁致伸缩式转矩传感器的制造方法，其特征在于，包括：在旋转轴(11)上通过电解镀敷形成磁致伸缩膜(14A、14B)的工序(P1)；对形成在所述旋转轴上的所述磁致伸缩膜(14A、14B)在施加了规定的转矩的状态下供给规定时间的高频来进行加热处理，通过释放转矩附加磁各向异性的工序(P2)；在所述形成磁致伸缩膜工序(P1)之后或者在所述旋转轴(11)的前处理工序中设置的对所述旋转轴(11)进行退磁的工序(P32)。