| 发明名称 | 微型机电设备及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够使间隙进一步狭小化的微型机电设备的结构及其制造方法。在本发明的微型机电设备中，共振子(22)和电极(21)相互对置，在该对置面上形成有一对热氧化膜(5、5)，在两热氧化膜间具有狭小化了的间隙。在本发明的微型机电设备的制造工序中，对形成共振子(22)和电极(21)的Si层实施利用了光刻法和蚀刻法的加工，在形成作为间隙的槽(20)后，对该Si层实施热氧化处理，在槽(20)的对置面上形成一对Si热氧化膜(5、5)。 | ||
| 申请公布号 | CN101945819A | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN200980105397.8 | 申请日期 | 2009.02.09 |
| 申请人 | 三洋电机株式会社 | 发明人 | 长崎宽范 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01G5/16(2006.01)I;H03H3/007(2006.01)I;H03H9/24(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 一种微型机电设备，其两个部件相互对置，具有与两个部件间的间隙相对应的静电电容，并基于该静电电容进行动作，所述微型机电设备的特征在于，在所述两个部件的对置面上形成一对热氧化膜，在两热氧化膜间具有狭小化了的间隙。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||