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发明名称 MEMS device and process
摘要
申请公布号 GB2467777(B) 申请公布日期 2011.01.12
申请号 GB20090002480 申请日期 2009.02.13
申请人 WOLFSON MICROELECTRONICS PLC 发明人 COLIN ROBERT JENKINS;TSJERK HOEKSTRA;RICHARD LAMING
分类号 B06B1/02;B81B3/00;B81C1/00;H01L29/84;H04R19/04 主分类号 B06B1/02
代理机构 代理人
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