| 发明名称 | 防位置偏移装置、具有它的基板保持器、基板输送装置及基板输送方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种防位置偏移装置、具有它的基板保持器、基板输送装置及基板输送方法，该防位置偏移装置即使在真空状态下也能抑制被保持在基板保持器上的基板发生位置偏移。能装卸自如地安装在叉(101)上的防位置偏移装置(201)包括主体(203)、突出地设在该主体(203)的上表面(203a)上的多个可动销(205)、和分别单独对上述可动销(205)施加向上(突出的方向)的力的螺旋弹簧(207)。 | ||
| 申请公布号 | CN101944497A | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN201010222939.4 | 申请日期 | 2010.07.02 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 驹田秀树 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种防位置偏移装置，其包括：主体，其固定在用于保持基板的基板保持器上；可动构件，其为多个且彼此独立地设置，该可动构件具有以第1高度自上述主体的上表面突出的部分，在基板的载重施加在该突出的部分上的状态下，该突出的部分的高度低于上述第1高度；施力构件，其对上述多个可动构件分别沿上述突出的部分的突出方向施力；其中，通过使以上述第1高度突出的1个以上的可动构件的侧部与被保持在上述基板保持器上的基板的端部抵接，从而限制基板的移动，防止基板发生位置偏移。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||