| 发明名称 | 蒸气输送系统 | ||
| 摘要 | 一种用于将物质(12)输送至处理(室14)的输送系统(10)，其包括用于容纳由液体物质的源(18)供给的物质的物质容器(16)。加热装置(44)被设置用于加热液体物质。加热装置由导体(46)连接至加热控制单元(48)，该加热控制单元(48)是由控制装置(30)可操作的，以控制液体物质从容器(16)的蒸发。流动引导装置(22、24)引导所蒸发的物质流向处理室。 | ||
| 申请公布号 | CN101945711A | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN200980105271.0 | 申请日期 | 2009.02.16 |
| 申请人 | P2I有限公司 | 发明人 | 马尔科姆·伍德科克 |
| 分类号 | B05D7/24(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | B05D7/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 李冬梅;郑霞 |
| 主权项 | 一种输送系统，其用于将物质输送至处理室，所述系统包括：物质容器，其用于容纳由液体物质的源供给的物质；加热装置，其用于加热所述液体物质，所述加热装置是可操作的，以控制所述液体物质从所述容器的蒸发；以及流动引导装置，其用于将所蒸发的物质的流引导到处理室，其中所述加热装置包括具有加热构造的浸没式加热装置，所述加热构造适于在使用时分散在所述液体物质中。 | ||
| 地址 | 英国牛津郡 | ||