基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源

摘要

本发明涉及介质阻挡放电技术领，具体地说是一种基于介质阻挡放电技术的平板型全密封低温等离子体激发源，其特征在于设有两片陶瓷片，两片陶瓷片平行粘合在一起形成一个中空放电室，中空放电室外侧的陶瓷片上分别粘贴有锡箔纸，粘合的两片陶瓷片的周边分别设有石英窗片、进气口和排气口，本发明采用平板型设计，提高了激发效率；采用高纯Al2O3陶瓷平板为介质材料，提高了器件的热稳定性和耐高电压特性；该器件使用石英窗片完全封闭放电室，隔绝了大气，作为光发射光谱系统的激发源，激发目标组分产生特征激发谱线不受空气背景信号干扰，增强了目标组分的光谱信息，提高了目标组分的检测灵敏度和器件的热稳定性和耐高电压特性，器件工作更加稳定。

主权项

一种基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源，其特征在于由两片陶瓷片平行粘合在一起形成一个中空放电室，组成中空放电室外侧的陶瓷片上分别粘贴有锡箔纸作为放电电极，粘合的两片陶瓷片的周边分别设有石英窗片、进气口和排气口。