静电卡盘的测温装置

摘要

本发明公开了一种静电卡盘的测温装置，该测温装置安装在静电卡盘下部的安装孔中，测温装置包括温度传感器、固定模块，温度传感器活动装于安装孔内，固定模块通过螺纹固定于安装孔的口部，温度传感器和固定模块之间设有弹簧。温度传感器为“T”字形，下端插入到固定模块中部的孔中。弹簧处于预压缩状态，弹簧的压力使温度传感器的上表面与静电卡盘接触良好，对静电卡盘和温度传感器的加工和安装的技术要求较低，又不会损坏静电卡盘。

主权项

一种静电卡盘的测温装置，该测温装置安装在静电卡盘上，静电卡盘安装在基座上，其特征在于，所述静电卡盘的下部开有安装孔，所述测温装置包括温度传感器、固定模块，所述温度传感器活动装于所述安装孔内，所述固定模块固定于所述安装孔的口部，所述温度传感器和固定模块之间设有弹性元件；所述温度传感器为“T”字形，所述固定模块的中部开有孔，所述温度传感器的下端插入所述的孔中。