发明名称 |
化学桶槽气氛保持装置及其方法 |
摘要 |
本发明是有关一种化学桶槽气氛保持装置及其方法。该化学桶槽气氛保持装置,包含:一氮气预湿器、一温度感测器、一化学桶槽、一湿度感测器及一控制器。该化学桶槽气氛保持方法,包含:利用氮气及溶液进入氮气预湿器,经由出口、水气分离器将带有湿气氮气与纯水气分离,再将带有湿气氮气导入第三入口至化学桶槽内,使氮气含有水气,维持化学桶槽内特定温度与湿度;利用加热板温度升高时将氮气增加含水量,经由出口、第三入口至化学桶槽内,使氮气含有水气;利用温度感测器的量测温度,经由控制器加以控制,以调整加热板的作动。本发明可达成化学桶槽内相对温度及湿度的气氛平衡,可减少化学桶槽内化学物质在桶槽壁上产生结晶现象,并能维持化学物质的稳定性。 |
申请公布号 |
CN101497387B |
申请公布日期 |
2011.01.12 |
申请号 |
CN200810007098.8 |
申请日期 |
2008.02.02 |
申请人 |
亚泰半导体设备股份有限公司 |
发明人 |
黎源欣 |
分类号 |
B65D81/18(2006.01)I;B65D81/20(2006.01)I;B65D88/74(2006.01)I;B65D90/00(2006.01)I;B65D90/48(2006.01)I;G05D27/02(2006.01)I |
主分类号 |
B65D81/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种化学桶槽气氛保持装置,其特征在于其包含:一氮气预湿器,具有一第一入口、一第二入口及一出口,该第一入口通入氮气,该第二入口通入溶液,该出口导出加湿后的氮气,另,该氮气预湿器的底部设有一加热板;一水气分离器,具有一输入管路及一输出管路,该输入管路连接该出口,该水气分离器是将该氮气预湿器所加湿的氮气与纯水气分离的装置;一温度感测器,是设置于该氮气预湿器壁上,可感测该氮气预湿器内温度的装置;一化学桶槽,具有一第三入口,该输出管路连接该第三入口,;一湿度感测器,是设置于该化学桶槽壁上,可感测该化学桶槽内湿度的装置;以及一控制器,是分别连接且控制该加热板、该温度感测器及该湿度感测器;其中,当该氮气及该溶液进入该氮气预湿器,藉由该湿度感测器的量测湿度,经由该控制器加以控制,以调整该加热板的温度,当该加热板温度升高时,能将氮气增加其含水量,经由该出口、该第三入口至该化学桶槽内,使该氮气含有水气,另藉由该温度感测器的量测温度,经由该控制器加以控制,以调整该加热板的作动。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |