离子布植机及其磁铁磁极与分析磁铁及电荷中和改良方法

摘要

本发明揭露一种借由束缚一离子布植机的一磁铁的一磁性区域内的电子，以降低电子损耗且因此改良一低能量射束的输送效率，从而改良邻近该离子布植机的该磁铁的空间电荷中和的方法以及装置。提供一用于一离子布植机的一磁铁的磁极部件，前述磁极部件包括一外表面，其具有形成邻近前述磁极部件的磁场集中区的多个磁场集中部件。遭遇该增强的磁场的电子沿相同磁场线反弹回去而不是经允许而逃逸。本发明亦提供一分析器磁铁以及包括前述磁极的离子布植机，因此实现了一改良一离子布植机中的低能量离子束空间电荷中和的方法。

主权项

一种用于在离子布植机中使用的磁铁的磁极，其特征在于前述磁极包含：一磁性部件，其用于安装至前述磁铁的一内部部分，前述磁性部件包括一外表面，前述外表面包括形成邻近前述磁性部件的磁场集中区的多个磁场集中部件，其中前述多个磁场集中部件对前述磁铁产生磁镜作用，当所述离子布植机产生的电子被引入所述磁铁时，所述磁镜作用使得所述电子避免往磁场增强的方向运行，而只沿着磁场的镜射路径运行。