发明名称 | 一种工艺过程参数的可视化装置和方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种工艺过程参数的可视化装置,用于展示多种工艺过程参数随时间的变化情况,该装置包括:时间轴动态调整模块,用于依据一过程参数的目标样本点的时间值,对展示该过程参数的时间轴的最大值和最小值进行动态调整;数值轴动态调整模块,用于依据一过程参数在当前时间轴范围内的样本点的最大参数值和/或最小参数值,对展示该过程参数的数值轴的最大值和/或最小值进行动态调整;展示模块,用于采用动态调整得到的时间轴范围和数值轴范围,对相应的过程参数随时间的变化情况进行展示。本发明的坐标轴取值范围可以随着该过程参数样本点数值的变化而自动调整,以使其能够在图像区有一个最佳的显示比例,便于技术人员观察分析。 | ||
申请公布号 | CN101441458B | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
申请号 | CN200810240097.8 | 申请日期 | 2008.12.18 |
申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 谢凯 |
分类号 | G05B19/048(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/048(2006.01)I |
代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
主权项 | 一种工艺过程参数的可视化装置,其特征在于,用于展示多种工艺过程参数随时间的变化情况,该装置包括:时间轴动态调整模块,用于依据一过程参数的目标样本点的时间值,对展示该过程参数的时间轴的最大值和最小值进行动态调整;数值轴动态调整模块,用于依据一过程参数在当前时间轴范围内的样本点的最大参数值和/或最小参数值,对展示该过程参数的数值轴的最大值和/或最小值进行动态调整;展示模块,用于采用动态调整得到的时间轴范围和数值轴范围,对相应的过程参数随时间的变化情况进行展示。 | ||
地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 |