发明名称 |
一种层叠半导体芯片的测试探针 |
摘要 |
一种层叠半导体芯片的测试探针,由针体(2)、上动针(3)和下定针(1)所组成。而上动针(3)设有弹性连接部分(3-3),通过过渡部分(3-2)与导向部分(3-1)平滑过渡连接。针体(2)为磷青铜,与上动针(3)过盈配合、弹性连接,依靠针体(2)具有一定弹性力对上动针(3)所产生的反作用力,保证上动针(3)在没有外力作用时,克服重力和轻微振动的影响,停留在针体(2)的任何位置,从而获得正确和理想的测试结果,并大大提高了探针对半导体芯片的测试效率。 |
申请公布号 |
CN101943710A |
申请公布日期 |
2011.01.12 |
申请号 |
CN201010259152.5 |
申请日期 |
2010.08.23 |
申请人 |
安拓锐高新测试技术(苏州)有限公司 |
发明人 |
周家春;吉迎冬;施元军 |
分类号 |
G01R1/073(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/073(2006.01)I |
代理机构 |
苏州市新苏专利事务所有限公司 32221 |
代理人 |
孙莘隆 |
主权项 |
一种层叠半导体芯片的测试探针,包括针体(2),上动针(3)和下定针(1),下定针(1)通过挤压的方法固定在针体(2)的一端;而上动针(3)套装在针体(2)的另一端管壁内,其特征在于:所述的上动针(3)依次设定了导向部分(3‑1),过渡部分(3‑2)和弹性连接部分(3‑3)。 |
地址 |
215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹中路255号 |