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发明名称 Lens coil cooling of a magnetic lens
摘要
申请公布号 EP1970935(B1) 申请公布日期 2011.01.12
申请号 EP20070005310 申请日期 2007.03.14
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 ADAMEC, PAVEL
分类号 H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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