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发明名称 RESIN COMPOSITION FOR MICROPATTERN FORMATION AND METHOD OF MICROPATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 EP2133747(A4) 申请公布日期 2011.01.12
申请号 EP20080711659 申请日期 2008.02.20
申请人 JSR CORPORATION 发明人 NAGAI, TOMOKI;NAKAMURA, ATSUSHI;ABE, TAKAYOSHI;SUGIURA, MAKOTO
分类号 G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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