发明名称
摘要
申请公布号 JP4610422(B2) 申请公布日期 2011.01.12
申请号 JP20050180990 申请日期 2005.06.21
申请人 发明人
分类号 C30B29/16;C30B33/02;C30B33/10;H01L21/465 主分类号 C30B29/16
代理机构 代理人
主权项
地址