微光刻投射曝光设备的照明系统

摘要

微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。

主权项

微光刻曝光设备的照明系统(10)，包括布置为多镜阵列(22)且能够借助于至少一个驱动器(60、E1、E2、E3)倾斜的镜(24)，并且包括用于所述镜(24)的驱动电子装置(44、46)，其包括：a)具有第一分辨率的粗数模转换器(68)，b)具有第二分辨率的精数模转换器，所述第二分辨率高于所述第一分辨率，以及c)加法器(72)，其配置为相加由所述两个数模转换器(68、70)输出的输出量以产生总量，其中，所述总量能够至少间接施加到所述镜(24)的至少一个驱动器(60、E1、E2、E3)。