应用于基板研磨机构的量测补正系统

摘要

本实用新型是有关于一种应用于基板研磨机构的量测补正系统，其包括：至少一量测模块，以量测位于该基板研磨机构内的一待研磨基板的位置；一通讯模块，连接于该量测模块，以接收该量测资料信号并将其转换为资料封包的格式；一控制处理模块，以接收通讯模块所送出的各种资料封包，并将其处理成为一位置补偿信号及一角度补偿信号；一第一驱动模块，以接收控制处理模块所送出的该位置补偿信号；一第二驱动模块，连接于控制处理模块，以接收控制处理模块所送出的该角度补偿信号；一研磨位置补正机构，可被第一驱动模块驱动以对于一研磨模块进行研磨位置的补正；及一角度补偿机构，可被第二驱动模块驱动以执行待研磨基板的角度位置补正。

主权项

一种应用于基板研磨机构的量测补正系统，其特征在于包括：至少一量测模块，装设于一基板研磨机构，以量测位于该基板研磨机构内的一待研磨基板的位置，并输出一量测资料信号；一通讯模块，连接于该量测模块，以接收该量测资料信号并将其转换为一串列式资料封包与一二进制十进数码资料封包的后送出；一控制处理模块，连接于该通讯模块，以接收该通讯模块所送出的资料封包，并将其处理成为一位置补偿信号及一角度补偿信号的后送出；一第一驱动模块，连接于该控制处理模块，以接收该控制处理模块所送出的该位置补偿信号；一第二驱动模块，连接于该控制处理模块，以接收该控制处理模块所送出的该角度补偿信号；一研磨位置补正机构，连接于该第一驱动模块，当该控制处理模块传送该位置补偿信号至该第一驱动模块时，该第一驱动模块即驱动该研磨位置补正机构以对于该基板研磨机构的一研磨模块进行研磨位置的补正；及一角度补偿机构，连接于该第二驱动模块，当该控制处理模块传送该角度补偿信号至该第二驱动模块时，该第二驱动模块即驱动该角度补偿机构以执行该待研磨基板的角度位置补正。