用于产生等离子体的电极装置和设备

摘要

用于产生等离子体的电极装置包含：平面部件，其经安置以面向支撑衬底的基座，且在衬底与平面部件之间产生等离子体；以及直线状部件，其经由电连接到平面部件的多个馈送点而将高频信号提供给平面部件，且允许在直线状部件在从将高频信号供应到直线状部件的供应点到馈送点中的每一者的路径上更靠近馈送点时减小导纳，直线状部件包含连接单元，连接单元包含：第一部件，其将来自以直线彼此邻近安置的四个馈送点中的两个馈送点连接，且安置成与包含形成有馈送点的直线的平面分离，且与平面部件形成预定角度；以及第二部件，其将来自四个馈送点中的未连接到第一部件的两个馈送点连接，且经安置以关于包含形成有馈送点的直线的平面而与第一部件对称。

主权项

一种用于产生等离子体的电极装置，其特征在于所述电极装置包括：平面部件，其经安置以面向支撑衬底的基座，且在所述衬底与所述平面部件之间产生等离子体；以及直线状部件，其经由电连接到所述平面部件的多个馈送点而将高频信号提供给所述平面部件，且允许在所述直线状部件在从将所述高频信号供应到所述直线状部件的供应点到所述馈送点中的每一者的路径上更靠近所述馈送点时减小导纳，其中所述直线状部件包括连接单元，所述连接单元包括：第一部件，其将来自以直线彼此邻近安置的四个馈送点中的两个馈送点连接，且安置成与包含形成有所述馈送点的所述直线的平面分离，且与所述平面部件形成预定角度；及第二部件，其将来自所述四个馈送点中的未连接到所述第一部件的两个馈送点连接，且经安置以关于包含形成有所述馈送点的所述直线的所述平面而与所述第一部件对称。