| 发明名称 | 支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉，该支撑销对被实施加热处理的基板进行支撑，对热分解、氧化分解具有高度的耐久性。首先，将主体部(101)的成形材料(优选树脂)在氧气以及/或者水分的含有浓度为10ppm以下的环境下射出成形为给定的销形状来形成支撑销(100)的主体部(101)。接着，在所得到的主体部(101)的表面，通过静电粉末涂装形成氟碳膜(102)。由此，得到对被实施加热处理的基板进行支撑的支撑销(100)。 | ||
| 申请公布号 | CN101290902B | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN200810093351.6 | 申请日期 | 2008.04.18 |
| 申请人 | 株式会社未来视野 | 发明人 | 大见忠弘;村冈祐介;宫路恭祥 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I;F27D3/12(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;B29C45/00(2006.01)I;B29K96/00(2006.01)N;B29K77/00(2006.01)N | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 高龙鑫;马少东 |
| 主权项 | 一种支撑销的制造方法，该支撑销用于对被实施加热处理的基板进行支撑，其特征在于，具有：射出成形工序，将树脂材料在氧气的含有浓度为10ppm以下的环境下，射出成形为给定的销形状来获得成形品；保护膜形成工序，在上述成形品的表面上形成氟碳膜作为保护膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||