用于加热基板的平板加热装置

摘要

本实用新型公开了一种用于加热基板的平板加热装置，所述基板表面用来在薄膜沉积设备中沉积薄膜，所述薄膜沉积设备具有间隔交替放置的电极板，所述基板安装在各个所述电极板的表面，所述平板加热装置包括复数个板状加热器，所述加热器分别位于所述电极板两侧的基板之间。本实用新型对基板加热时不会产生粉尘污染，而且具有较高的加热效率和加热的均匀性。

主权项

一种用于加热基板的平板加热装置，所述基板表面用来在薄膜沉积设备中沉积薄膜，所述薄膜沉积设备具有间隔交替放置的电极板，所述基板安装在各个所述电极板的表面，其特征在于：所述平板加热装置包括复数个板状加热器，所述加热器分别位于所述电极板两侧的基板之间。