多元素耐高温抗震磁控管阴极

摘要

本发明公开了一种多元素耐高温抗震磁控管阴极，由钨、钍、铼、组成。本发明通过元素的合理添加，大大提高了材料延展性能，从而有效提高了产品的使用寿命。

主权项

一种多元素耐高温抗震磁控管阴极，其特征是：由下列重量成分组成：铼                      0.01～3％钍                      0.5～1.5％钨                      余量。