提高薄膜太阳电池透光率的方法

摘要

提高薄膜太阳电池透光率的方法，解决在保证电池效率的前提下，进一步提高太阳电池的光透过率的技术难题，以上方法是在制备透明薄膜太阳电池工艺中实现的，制备透明薄膜太阳电池工艺包括：在清洗干净后的基板玻璃上，通过三次沉积、光刻以及腐蚀工艺分别制备导电膜层、光伏吸收层以及背电极层，制备导电膜层又包括溅射氧化锌铝与溅射铝膜层，在溅射铝膜层前，首先在基板玻璃上方与金属靶材之间定位具有筋板结构的挡板，在挡板上沉积铝膜层以及氧化锌铝形成导电膜层，拆除挡板、再进行沉积光伏吸收层以及后续工艺。通过调整溅射穿透区与遮挡筋板的截面宽度的比值，能方便的调整光透过率；整块电池的效率损失很小，损耗达到10％以下。

主权项

提高薄膜太阳电池透光率的方法，以上方法是在制备透明薄膜太阳电池工艺中实现的，制备透明薄膜太阳电池工艺包括：在清洗干净后的基板玻璃上，进行沉积PIN光伏吸收层、制备背电极层、溅射金属膜层、出片进行封装测试，其中溅射金属膜层工艺包括镀氧化锌铝膜层和镀铝膜层，其特征在于：在镀氧化锌铝膜层后镀铝膜层时，在基板玻璃上方与金属靶材之间定位具有筋板结构的挡板，借助挡板与基板玻璃之间的间隔形成铝膜层，溅射完毕后拆除挡板、直接出片进行封装测试。