质谱仪真空腔内样品离子流大小检测装置

摘要

本实用新型公开了一种质谱仪真空腔内样品离子流大小检测装置，包括质谱仪真空腔体和一PC机，所述PC机内安装有静电仿真软件，所述PC机通过连接线连接有一皮安电流计，所述真空腔体内设置有一法拉第杯，所述法拉第杯通过单芯屏蔽电缆连接至一固定在所述真空腔体上的真空密封连接器的一端，所述真空密封连接器的另一端通过第一低容值屏蔽线连接至所述皮安电流计的输入端，所述皮安电流计的接地端通过第二低容值屏蔽电缆连接至所述真空腔体上；所述真空腔体为整个系统的公共地，所述法拉第杯产生的电流通过导线和皮安电流计流到公共地，形成测试回路，该装置受到的外部干扰影响小，可以有效的检测到样品离子流的大小。

主权项

一种质谱仪真空腔内样品离子流大小检测装置，包括质谱仪真空腔体(6)和一PC机(1)，所述PC机(1)内安装有静电仿真软件，所述PC机(1)通过连接线连接有一皮安电流计(2)，其特征在于：所述真空腔体(6)内设置有一法拉第杯(4)，所述法拉第杯(4)通过单芯屏蔽电缆(7)连接至一固定在所述真空腔体(6)上的真空密封连接器(3)的一端，所述真空密封连接器(3)的另一端通过第一低容值屏蔽线(8)连接至所述皮安电流计(2)的输入端，所述皮安电流计(2)的接地端通过第二低容值屏蔽电缆(9)连接至所述真空腔体(6)上；所述真空腔体(6)为整个系统的公共地，所述法拉第杯(4)产生的电流通过导线和皮安电流计流到公共地，形成测试回路。