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发明名称
Shaft portion of an apparatus for holding and heating semiconductor wafers or the like
摘要
申请公布号
USD630657(S1)
申请公布日期
2011.01.11
申请号
US20080323534F
申请日期
2008.08.27
申请人
NGK INSULATORS, LTD.
发明人
NAKAMURA TAICHI
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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