发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE COMPONENT
摘要 Disclosed herein are processes for making a consolidated or densified composite article comprising polymer, particularly fluoropolymer, and oriented carbon fiber, which provides suitability for use in chemical-mechanical applications.
申请公布号 US2011001082(A1) 申请公布日期 2011.01.06
申请号 US20100820359 申请日期 2010.06.22
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 BOOZE J. DAVID
分类号 C09K13/00 主分类号 C09K13/00
代理机构 代理人
主权项
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