真空镀膜生产线用插板阀

摘要

一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体、第二真空箱体、插板阀、滑杆，所述第一真空箱体、第二真空箱体上设有通道口，所述插板阀包括第一阀门本体和第二阀门本体，所述第一阀门本体、第二阀门本体安装在所述滑杆的两侧并且可随滑杆沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆安装在所述第一真空箱体、第二真空箱体之间，所述第一阀门本体、第二阀门本体之间安装有回位拉簧及与外设压力气源连接的波纹气管，本实用新型具有使用方便、密封效果好、避免各腔体作业时产生互相干扰等优点，可替代现有真空镀膜生产线用的转板阀。

主权项

一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于：包括第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)、插板阀、滑杆(2)，所述第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)上设有通道口(10)，所述插板阀包括第一阀门本体(8)和第二阀门本体(5)，所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)安装在所述滑杆(2)的两侧并且可随滑杆(2)沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆(2)安装在所述第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)之间，所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)之间安装有回位拉簧(7)及与外设压力气源连接的波纹气管(6)。