发明名称 一种开门式单晶炉取棒车
摘要 一种开门式单晶炉取棒车,涉及一种单晶炉取棒车,它有一个车架,车架底部设有定向轮和带刹万向轮,车架上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统,升降系统主要包括油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、上升踏板、下降踏板、升降导杆、导杆支架、导杆限位板。水平伸缩夹紧系统在液压缸顶杆上方,其主要包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、锁紧销、压紧臂、卡紧块、轴销、托盘、链条、吊钩组成。本实用新型避免由于人工取棒所造成的烫伤的可能,进而导致单晶硅棒脱落,造成事故以及产生产品质量的问题,其可以更加安全和精确地完成取棒过程。
申请公布号 CN201695109U 申请公布日期 2011.01.05
申请号 CN201020177560.1 申请日期 2010.04.29
申请人 杭州富通半导体设备科技有限公司 发明人 许月明;汪益龙;周岱忠;李晓荣
分类号 C30B35/00(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 浙江翔隆专利事务所 33206 代理人 沈绿怡
主权项 一种开门式单晶炉取棒车,它有一个车架,车架底部设有带刹万向轮和定向轮,其特征在于所述的车架上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统:车架上端连接有扶手;升降系统包括上升踏板、下降踏板、油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、升降导杆、导杆支架、导杆限位板、抱箍和拉杆,其中油箱在车架上部,油泵组件在车架下部,液压缸在定向轮上方并与车架连接,液压缸上套有抱箍,抱箍通过拉杆与机架连接,顶杆为液压缸的一部份,油泵组件通过油管与油箱连接,其前部有油泵组件进出油口,液压缸下部设有液压缸进出油口,导杆限位板与抱箍连接;水平伸缩夹紧系统包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、锁紧销、压紧臂、卡紧块、轴销、吊钩、链条、托盘,其中伸缩丝杆一端与伸缩手轮连接,另一端与伸缩臂连接,伸缩臂在导向筒内,导向筒与顶杆上端连接,伸缩臂前端设有夹紧丝杆,夹紧丝杆的一端设有锁紧销,并且夹紧丝杆连接两只压紧臂,两只压紧臂前端分别设有上下两只卡紧块,卡紧块通过轴销与压紧臂连接,轴销下端连接吊钩,挂在吊钩上的的两根链条下端挂有托盘。
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