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发明名称
摘要
申请公布号 JP4607197(B2) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 JP20080036209 申请日期 2008.02.18
申请人 发明人
分类号 H01L27/115;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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