发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A LAYER OF GALLIUM NITRIDE OR GALLIUM ALUMINIUM NITRIDE
摘要
申请公布号 EP2269212(A1) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 EP20090725028 申请日期 2009.03.11
申请人 PICOGIGA INTERNATIONAL 发明人 LAHRECHE, HACENE
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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