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发明名称
APPARATUS FOR REMOVING A BOAT OF A VERTICAL FURNACE
摘要
申请公布号
KR101005675(B1)
申请公布日期
2011.01.05
申请号
KR20030096748
申请日期
2003.12.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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