VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRONIKBAUTEILMATERIAL,申请号DE20026038389-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRONIKBAUTEILMATERIAL
摘要
申请公布号	DE60238389(D1)	申请公布日期	2011.01.05
申请号	DE20026038389	申请日期	2002.01.25
申请人	TOKYO ELECTRON LTD.	发明人	SUGAWARA, TAKUYA;NAKANISHI, TOSHIO;OZAKI, SHIGENORI;MATSUYAMA, SEIJI;MURAKAWA, SHIGEMI;TADA, YOSHIHIDE
分类号	H01L21/316;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/768;H01L29/51	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
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