发明名称
摘要
申请公布号 JP4606522(B2) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 JP19990506142 申请日期 1998.07.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/66;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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