微机械结构元件及其制造方法

摘要

本发明涉及微机械结构元件，其包括基件、具有导电材料的偏转件和偏转件绝缘部，该偏转件绝缘部使偏转件的第一与第二区段相互电绝缘。柔性的、导电的第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，柔性的、导电的第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。还涉及一种用于制造微机械结构元件的方法，该方法包括以下步骤：提供具有导电的覆盖层的衬底晶片，在覆盖层中蚀刻绝缘沟，该绝缘沟使覆盖层的第一区段与第二区段相互绝缘，以及由衬底晶片构成基件和包括覆盖层的第一区段和第二区段的偏转件，留下柔性的、导电的第一连接元件和柔性的、导电的第二连接元件，该第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，该第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。

主权项

微机械结构元件(100)，具有：基件(102)；偏转件(104)，该偏转件具有导电材料(300)；偏转件绝缘部(106，302)，该偏转件绝缘部使所述偏转件(104)的第一偏转件区段(108)与第二偏转件区段(110)相互电绝缘；柔性的、导电的第一连接元件(112)，该第一连接元件使所述基件(102)与所述第一偏转件区段(108)连接；和柔性的、导电的第二连接元件(114)，该第二连接元件使所述基件(102)与所述第二偏转件区段(110)连接。