发明名称 一种用于生长铸造单晶硅的坩埚及衬底片
摘要 本发明公开了一种用于生长铸造单晶硅的坩埚及衬底片,能够有效减少铸造单晶硅时籽晶的用量,结构简单,成本低廉。所述坩埚的底部设有若干个连续的斗冠形结构、若干个连续的胞形结构或若干个连续的半球形结构。所述衬底片的外壁为方形结构,内壁为若干个连续的斗冠形结构、若干个连续的胞形结构或若干个连续的半球形结构。
申请公布号 CN101935869A 申请公布日期 2011.01.05
申请号 CN201010284947.1 申请日期 2010.09.17
申请人 浙江大学 发明人 杨德仁;肖承全;余学功
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 主分类号 C30B11/00(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 唐柏松
主权项 一种用于生长铸造单晶硅的坩埚,其特征在于:所述坩埚的底部设有若干个连续的斗冠形结构、若干个连续的胞形结构或若干个连续的半球形结构。
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