电子元件用搬送装置

摘要

提供一种能够以短时间且高精度地进行各吸附夹具的高度调整的电子元件用搬送装置。包括转台2、和多个吸附夹具13、和气压装置18、和升降装置14、和控制吸附夹具13下降量的控制装置21。控制装置21，含有利用和升降装置14不同的另外的检测系统检测吸附夹具13的基准高度的高度检测部38。控制装置21，包括修正每个吸附夹具13的下降量的修正部，以使得各吸附夹具13的基准高度和由升降装置14检测出的各吸附夹具13的高度相一致。

主权项

一种电子元件用搬送装置，其特征在于，包括：间歇性旋转的转台，和可升降地支持在该转台的外周部，在所述转台圆周方向上等间隔排列的多个电子元件用吸附夹具，和切换由所述吸附夹具造成的电子元件的吸附状态和放开状态的气压装置，和含有升降所述吸附夹具功能同时含有检测吸附夹具高度功能的升降装置，和与所述升降装置相连接，并控制所述吸附夹具下降量的控制装置；所述控制装置，包括：高度检测部和修正部，所述高度检测部设置于所述转台附近，利用和所述升降装置不同的另外的检测系统检测各吸附夹具的基准高度，所述修正部对每个吸附夹具的下降量进行修正，以使得在吸附夹具下降了规定下降量的状态下，由所述高度检测部检测出的各吸附夹具的基准高度和在该状态下由所述升降装置检测出的各吸附夹具的高度相一致。