产生图像的方法和用于获取及处理图像的系统

摘要

本发明涉及一种产生图像的方法和用于获取及处理图像的系统。其中公开了用于产生来自器件的图像的方法、系统和计算机程序产品。在一个实施例中，该方法包含从器件获取第一和第二图像，所述第一和第二图像具有交迭部分，并估计所述交迭部分以获得大致的移动量来大致对准所述第一和第二图像。该方法进一步包含使用定义的互相关算法来分析交迭部分，以计算精确移动量来对准第一和第二图像；并使用所述精确移动量将第一和第二图像接合到一起。在一个实施例中，光学系统用于获取图像，台架用于移动器件或光学系统以获取第一和第二图像，而估计包括使用台架的移动来估计交迭区域。

主权项

一种产生来自器件的图像的方法，包含：从所述器件的第一和第二区域获取第一和第二图像，所述第一和第二图像具有交迭部分；估计所述交迭部分以获得大致的移动量来大致对准所述第一和第二图像；使用定义的互相关算法来分析所述交迭部分，以计算精确的移动量来对准所述第一和第二图像；和使用所计算的精确移动量来将所述第一和第二图像接合到一起以形成接合图像。