三氯氢硅尾气吸收塔

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅尾气吸收塔，它包括：第一级废气和水旋流混合洗涤-粗洗涤间01，第二级喷淋洗涤间02，第三级喷淋洗涤间03，喷淋填料洗涤-精洗涤间04，精洗涤间04内部设有离心式脱水装置05，外部通过管道与防腐离心风机06相连。三氯氢硅尾气经过进气口与水旋流混合后处理了大部分尾气，随后尾气又经过两级逆向喷淋和填料层的处理，再经离心式气水分离器将气、水分离后，排放达标的气体由离心式风机排至室外。本实用新型装置适用于大排量的尾气处理，方便可靠，效果显著，适合流水作业，且成本低廉。

主权项

一种三氯氢硅尾气吸收塔，其特征在于：它包括粗洗涤间、喷淋洗涤间、精洗涤间、离心式脱水装置和防腐离心风机，所述粗洗涤间、喷淋洗涤间、精洗涤间依此相通，所述离心式脱水装置安装于精洗涤间上部，所述精洗涤间通过管道与所述防腐离心风机相连。