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发明名称 ZUSAMMENSETZUNG FUR ANTIREFLEXBESCHICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER STRUKTUR
摘要
申请公布号 DE60335120(D1) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE2003635120 申请日期 2003.06.26
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS (JAPAN) K.K. 发明人 AKIYAMA, YASUSHI;TAKANO, YUSUKE
分类号 G03F7/11;G03F7/38;G03F7/004;G03F7/09;H01L21/027 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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