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发明名称 Suszeptor für das Dampfphasenwachstum und Dampfphasenwachstumsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE112008003277(T5) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE200811003277T 申请日期 2008.11.26
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. 发明人 NISHIZAWA, TSUYOSHI
分类号 H01L21/205;C23C16/458 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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