异形喷丝头制造方法

摘要

一种异形喷丝头制造方法，涉及一种电化学微加工技术领域的制造方法。本发明通过UV-LIGA技术，获得各种形状的超细微喷嘴结构，并通过电化学沉积技术，获得高硬度的出丝面。包括步骤：(1)玻璃片上，溅射金属Ti薄层，并作氧化处理，进行甩负性光刻胶、前烘等处理，实现异形喷嘴光刻胶结构的图形化；(2)溅射Ti-Cu导电层；(3)采用电沉积技术依次进行应力缓冲层、非晶态出丝面层以及模具支撑层的沉积，形成一个完整的模具电铸件；(4)热处理并冷却至室温；(5)进行平坦化加工，去除负胶、Cu应力缓冲层等。本发明可制备出任意形状、超细结构、高精度的喷丝头，且出丝面硬度高、抗划伤能力强、易于批量化生产。

主权项

一种异形喷丝头制造方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)玻璃片上，溅射金属Ti薄层，并作氧化处理，在溅射、氧化处理的玻璃片上，依次进行甩负性光刻胶、前烘、切片、曝光、中烘、显影处理，根据掩模版设计的喷嘴形状，实现异形喷嘴光刻胶结构的图形化；(2)在图形化的异形喷嘴光刻胶结构表面溅射一层Ti‑Cu导电层；(3)在上述Ti‑Cu导电层上，采用电沉积技术依次进行应力缓冲层、非晶态出丝面层以及模具支撑层的沉积；(4)将上述模具电铸件热处理并冷却至室温；(5)以平面加工技术，将上述经过热处理的模具电铸件进行平坦化加工，然后将该模具电铸件去负胶、去残留玻璃、Ti溅射层后、再浸于氨水和过氧化氢形成的刻蚀混合液中，去除Cu应力缓冲层，最终得到光滑的高强度超细化异形喷丝头。